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[检测百科]分享:JSM 6360型扫描电镜故障诊断与维护控制
2024年11月25日 14:03
扫描电镜(SEM)是利用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像的仪器[1],具有分辨率高、放大倍率宽、三维立体效果好、试样制备简单、综合分析能力强、操作容易等特点,已成为生物学、材料学等自然科学领域的重要微观表征手段之一[2]。扫描电镜可以与X射线能谱仪、波谱仪,以及电子背散射衍射(EBSD)、聚焦离子束(FIB)等设备配合使用,广泛用于科研院校研究与教学,以及企业的生产检测中[3]。
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