- [检测百科]分享：不同Si３N４ 相涂层坩埚中全熔多晶硅锭的制备及表征2021年11月04日 13:38
- 以αＧSi３N４ 和βＧSi３N４ 粉为原料,采用免烧结工艺在坩埚内壁上分别制备了αＧSi３N４ 涂 层、βＧSi３N４ 涂层以及二者质量比为１∶１的复合涂层,然后在这些涂层坩埚中制备得到了多晶硅铸 锭,观察了涂层和硅锭的表面形貌,测试了硅锭的表面粗糙度、晶粒大小以及红区长度.结果表明: αＧSi３N４ 涂层表面粗糙不平、起伏不均匀,对应硅锭的表面粗糙度和晶粒尺寸最大,
- 阅读（9）
浙江国检检测技术股份有限公司 版权所有 【暂无】 百度统计
全国统一服务热线：400-1188-260
客服手机号:13372307781
电话：400 1188 260 质量投诉 +86-573-86161208
邮箱：shhgj@chinazbj.com
地址：浙江省嘉兴市海盐县武原街道丰潭路777号
备案号：浙ICP备05056915号
浙公网安备 33042402000106号
技术支持:追马网
客服微信号
微信公众号
