- [检测百科]分享:使用飞行时间二次离子质谱法判定痕量氧元素的测试方法2024年11月18日 14:04
- 通过一次离子轰击固体材料表面,使二次离子从试样表面发射的方法叫作二次离子质谱(SIMS)法。飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)法的原理是利用一次离子束溅射固体材料表面,得到二次离子,根据到达检测器的时间推断出二次离子的质荷比,从而得到试样表面的成分信息[1]。ToF-SIMS是一种应用广泛的固体表面分析技术,具有高质量分辨率和高空间分辨率,其检测灵敏度很高,可以检测到痕量级(质量分数约为0.000 1%)的杂质。
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- 信号收集及显示系统:检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。真空系统:真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
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