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[检测百科]分享：使用飞行时间二次离子质谱法判定痕量氧元素的测试方法2024年11月18日 14:04: 通过一次离子轰击固体材料表面,使二次离子从试样表面发射的方法叫作二次离子质谱（SIMS）法。飞行时间二次离子质谱（ToF-SIMS）法的原理是利用一次离子束溅射固体材料表面,得到二次离子,根据到达检测器的时间推断出二次离子的质荷比,从而得到试样表面的成分信息[1]。ToF-SIMS是一种应用广泛的固体表面分析技术,具有高质量分辨率和高空间分辨率,其检测灵敏度很高,可以检测到痕量级（质量分数约为0.000 1%）的杂质。; 阅读（21）标签：