- [检测百科]分享:爆炸焊接法制备的5NAl和TU1-Cu靶材组织及性能2024年05月29日 12:51
- 溅射靶材是半导体芯片加工中的配线材料,由于集成电路设计复杂,金属配线对导电性能要求很高[1-2],因此对真空环境下的溅射金属的纯度要求非常严苛,要求纯度达到99.999%[3-4],本研究选用5NAl作为溅射材料。
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